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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
전극인쇄 및 소성시스템
Screen printer and firing furnace
| GBTP No. | GBREMS-12-0183 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2014-04-186903 |
| I-tube등록번호 | 1312-C-0180 |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 053-479-2163 |
장비정보
| 모델명 | 모델명 없음 | 제작사 | (주)울텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2013-12-17 | 취득금액 | 642,900,860원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 첨단기업 1로 17 구미전자정보기술원 대경권태양광테스트베드센터 F1층 104
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| 장비설명 | 이 시스템은 웨이퍼 로딩 프린팅 드라이어 소성로 그리고 Unloader가 인라인으로 구성되어 있으며 웨이퍼가 적재된 매거진을 웨이퍼 로더에 로딩하면 자동으로 정렬 프린팅 건조 소성 및 매거진에 자동으로 적재되어 공정이 마무리되는 인라인 시스템이다. | ||
| 구성 및 기능 |
1. Loader
1) Double shuttle magazine loader 2) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능 2. 스크린 프린터 1) 최대 인쇄 면적 : 156mm * 156mm + 0.5mm 2) 인쇄 속도 : 0 ~ 300 mm/sec 3) 인쇄 압력 : 0 ~ 0.5 MPa 4) Snap off : 0 ~ 5 mm 5) 스크린 정렬 ; 전자동 시스템으로 X Y 세타 수정 가능 6) 웨이퍼 정렬방법 : CCD 카메라를 이용한 자동 정렬 7) 웨이퍼 정렬 반복 정밀도 : 반복시 ±12.5㎛ 3. 드라이어 1) 최대 온도 : 350°C 이상 2) Heating 구간 : 독립적으로 온도제어가 가능 3) Conveyor와 PC Backup용 배터리 : 15분 지원 4) Heating 구간별 온도 편차 :±1℃이내 5) PC software로 제어되고 온도 프로파일 software가 내장되어 프로파일 데이터를 저장/분석 4. Magazine buffer 1) 프린팅 및 건조 공정 후 다음 프린팅 공정을 위해서 자동으로 웨이퍼를 magazine에 적재 2) 프린팅 및 건조 공정후 소성 공정을 진행할 때는 웨이퍼를 소성로로 이송 3) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능 5. 소성로 1) 최종 프린팅 공정 후 소성까지 할 수 있도록 in-line type으로 구성된 장비로써 건조 구간과 소성 구간으로 구성 2) 건조구간 : 최고 350°C 소성 구간 : 최고 1000 °C 3) 건조 구간 : Heating이 3구간이고 구간별 독립적으로 온도제어가 가능해야 함 4) 소성 구간 : Heating이 6구간이고 구간별 독립적으로 온도제어가 가능해야 함 5) Conveyor belt : Stand off type 6) Belt speed 제어 : 분당 66cm에서 분당 762cm까지 조절 가능 7) Belt speed 정밀도 : 설정값에 ±0.5%이내 8) 온도 반복 정밀도 : 소성구간 최고 온도에서 ±2℃이내 9) Frame cover에 센서들이 설치되어서 Frame cover를 개폐하면 전원이 차단됨 6. Unloader 1) 최종 프린팅 후 소성 공정까지 마친 웨이퍼를 자동으로 magazine에 적재 2) Magazine당 50매 웨이퍼 적재 가능 |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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