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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
진공증착기
Vacuum evaporator
| GBTP No. | GBREMS-24-0181 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2015-01-196175 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 금오공과대학교 |
| 연락처 | 054-478-7789 |
장비정보
| 모델명 | 주문제작 | 제작사 | ㈜엠오텍 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2013-01-01 | 취득금액 | 31,468,200원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 구미대로 350-27 (신평동) 산학융합지구 금오공과대학교 산학융합캠퍼스 F4층 409
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| 장비설명 |
1. 제품의 특징
- 전도성 전극의 대표적인 물질인 금속에 속하는 금, 백금, 구리 및 알루미늄 등의 고순도 금속들을 기판위에서 선택적으로 형성하기 위해 진공 증착하는 장비입니다. |
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| 구성 및 기능 |
2. 제품구성
- 공정챔버(Process chamber) 1 set -기본 진공도(Base pressure): 4.0 x 10-6Torr. 1) 재질 : 스텐레스 스틸(SUS304), 표면 전해연마처리(Electro polishing). 2) 챔버크기 : Φ300, H=400 mm 3) 기밀재(Sealant) : O-RING사용. 4) 셔터(Shutter): 공압방식, 2EA - 진공게이지 1) 고진공게이지 (이온 게이지, 1EA), 측정범위 : 대기압 -1x10E-10 Torr. 2) 저진공게이지 (컨벡션 게이지, 2EA), 측정범위 : 대기압 -1x10E-3 Torr. - 진공펌프 1) 고진공펌프(Diffusion 물큘러 펌프), 배기용량 : 800 리터/분. 2) 저진공펌프 (오일 로터리펌프), 배기용량 : 400 리터/분. - 진공밸브 : 고진공용 게이트 밸브(VG100), 후단부 배기구(NW25). 1) 두께 모니터링 : STM 100/MF 2) 열원 가) 전원장치 : 삼상 220V, 2A 나) Source material : W-boat 다) 전원 shutter방식: 공압방식 - 컨트롤 및 프레임 1) 스틸재질의 메인 프레임, 메인 컨트롤러 2) 메인파워: 220V, 60Hz, 20A |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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