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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

주사전자현미경(SEM)

Scanning electron microscopes

GBTP No. GBREMS-24-0154
NFEC등록번호 NFEC-2014-12-194872
I-tube등록번호 -
보유기관 금오공과대학교
연락처 054-478-7390

장비정보

모델명 SM-300 제작사 Topcon
취득일자 2002-12-31 취득금액 77,229,430원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 구미시 대학로 61 (양호동) 금오공과대학교 금오공과대학교 F2 246
장비설명 주사전자현미경에서는 전자총에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의 미세영역에 조사하여 투과되거나, 주산된 전자를 전자장을 이용하여 확대시킨 후, 검출기로 감지하여 형광판이나 화면으로 확대된 상을 관찰한다. 또한 시료 표면의 정보를 얻을 수 있고 시료의 두께, 크기 및 준비에 크게 제한을 받지 않는다. 주사전자현미경은 광학현미경에 비해 집점심도가 2배 이상 깊고, 또한 광범위하게 집점을 맞출 수 있어 입체적인 상을 얻는 것이 가능하다.
구성 및 기능 - 최대배율 : 300,000배, 전원사양 : 220v
- 주사전송전자현미경 기능 내장 유무 : 유, 종류 : 주사전자현미경(SEM)
- 대물렌즈 초점 거리 : 80mm, 배율 : 20~300000(26단계)
- Resolution : 3.5mm, Specimen stage : TXYRZ eccentric stage
사용/활용예 전자총에서 발생된 전자빔을 집속시켜 시료의 미세영역에 주사한 후 화면으로 확대된 상을 관찰하며, 시료 내의 원소에서 발생하는 특성 X선을 분석하는 X선 마이크로애널나이저와 병용하여, 시료 내에 있는 특정 원소의 검출이나 분포를 해석하는 수단으로도 널리 사용하고 있다.
이용안내
유의사항

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