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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
이온빔 밀링 시스템
Ion beam milling system
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2025-07-306971 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 금오공과대학교 산학협력단 |
| 연락처 | 054-478-7258 |
| 대표번호 | - |
장비정보
| 모델명 | PIPS II Pro 695 | 제작사 | Gatan |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2025-03-31 | 취득금액 | 213,400,000원 |
| 표준분류 | 화합물전처리/분석장비 > > | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 대학로 61 금오공과대학교 에디슨관 F2층
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| 장비설명 |
○ 반도체 부품소재 및 공정용 소재의 미세구조 분석
- 반도체 소재의 결정구조 및 미세구조 분석을 위한 시편 제작 실습에 주로 활용 - 반도체 공정용 부품소재의 제조 공정 중 발생할 수 있는 나노 결함에 대한 분석 - 미세구조 분석을 통한 성능 향상을 위한 방향성 제시 |
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| 구성 및 기능 |
- Ion guns: Two penning ion guns with low energy focusing electrodes
- Milling angle: -10 ~ 10 degree - Ion beam energy: 0.1 ~ 8.0 kV - Ion current density peak: 10 mA/cm2 - Beam alignment: Precision beam alignment using a fluorescent screen - Beam diameter: Adjustable using gas flow controller or discharge voltage - Sample size: 2.3 mm or 3 mm - Rotation: 1 – 6 rpm - X, Y translation: 0.5 mm - Pressure: 5 X 10-6 torr - Overall size: 547 X 495 X 615 mm - Argon gas: 25 psi - Power requirement: 100/240 VAC, 50/60Hz - Low energy focusing penning ion guns - Improved low energy milling for reduction in amorphous layer for corrected TEM - LN2 specimen cooling: Eliminates artifacts - 10 inch color touch screen control: Simple but full control from the graphical user interface - Cold stage, digital zoom microscope, computer with DigitalMicrograph software (GMS) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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