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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
백색 간섭계 탑재 레이저 현미경
3D Laser Scanning Microscope
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2024-11-300703 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 영남대학교 |
| 연락처 | 053-810-1848 |
장비정보
| 모델명 | VK-X3000 | 제작사 | KEYENCE |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2024-10-30 | 취득금액 | 187,600,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 영남대학교 중앙기기센터 F1층 103호
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| 장비설명 |
레이저를 이용하여 시료를 스캔하고 초점이 맺히는 부분만 합성하여 디지털 신호로 바꾸어 3차원 이미지를 관찰하는 현미경으로, 마이크로미터 수준의 미세 3차원 형상을 광학적인 비접촉 방식으로 관측하는 장비이다.
광학 현미경, SEM, 형상 측정기 및 표면 거칠기의 기능 특징을 모두 갖춘 확대 관찰 형상 측정 시스템이다. |
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| 구성 및 기능 |
1. 광원 : 적색 반도체 레이저 661nm 레이저 안전 규격 2등급, 백색 LED
2. 측정 광학계 : 레이저 공초점 광학계, 포커스 배리에이션 광학계, 백색 간섭 광학계 - 레이저 공초점 높이 표시 분해능 : 1nm 이하 폭 표시 분해능 : 1nm 이하 - 포커스 배리에이션 높이 표시 분해능 : 1nm 이하 폭 표시 분해능 : 1nm 이하 - 백색 간섭 높이 표시 분해능 : 0.01nm 이하 폭 표시 분해능 : 0.1nm 이하 3. 검출기 : 포토멀티플라이어 (레이저 공초점 광학계) 560만 화소 C-MOS 카메라 (포커스 배리에이션 광학계) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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