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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

X선 부품투시검사기

XRay Component Translucent Inspection System

GBTP No. GBREMS-12-0430
NFEC등록번호 NFEC-2024-06-298121
I-tube등록번호 -
보유기관 구미전자정보기술원
연락처 054-479-2231

장비정보

모델명 VEGARAY-CL 제작사 레이피아
취득일자 2024-06-20 취득금액 62,994,770원
표준분류 광학/전자영상장비 > 방사선발생/측정장비 > X-선발생기 활용용도 시험
장비위치
경상북도 구미시 산동면 첨단기업 1로 17 B1층 101호
장비설명 ○ X-선 부품투시검사기는 부품에 X-Ray를 조사하여 육안으로 검사하기 어려운 반도체융합부품의 내부구조 파악과 품
질 확인, 불량분석이 가능한 장비이며 서비스로봇용 전자융합부품 및 센서모듈 적용부품의 시제품제작에 활용하여 부
품의 신뢰성을 확보하고 디버깅에 활용 가능하다.
○ 특히, 서비스로봇 제품 개발시 비파괴 내부검사가 가능한 필수적인 측정장비이다.
○ 탁상용의 포터블 타입이며 디지털 센서의 유효면적이 170×230mm 이상이고 해상도가 7lp/mm 이상으로 방사선
차폐 및 안전시스템 탑재, 영상분석 소프트웨어를 통한 세부 이미지 분석이 가능하다.
- 서비스로봇 부품(전자융합부품 등)의 역설계, 개발부품 트라이아웃, 불량분석 등에 활용
구성 및 기능 1. 일반사항
- Lead Frame, Au, Cu Wire 형태 및 불량 양상 확인 등 다양한 반도체융합부품의 내부구조 파악, 품질확인, 불량분석
등의 용도로 활용 가능하다.
- 대형이송장비 없이 휴대가 가능한 수준의 2차원 X-ray 비파괴 분석 장비이다.
- 주기적인 소모품 교체가 없는 장비이다.

2. 시스템 구성
2.1 주장비 – X-선 부품투시기 1 set
1) X-선 발생장치
2) 디지털 센서
3) 차폐 캐비닛
4) 핸드 스위치
2.2 영상촬영,분석 전용 소프트웨어 1 copy

3. 품목별 상세규격
3.1 X-선 부품 투시기
1) X-선 발생장치
(1) 관전압 범위 : 20 ~ 80 ㎸(1 ㎸씩 가변)
(2) 관전류 범위 : 0.1 ~ 0.37 ㎃(0.01 ㎃씩 가변)
(3) 조사시간 범위 : 1.0 ~ 4.0 s (0.1 s씩 가변)
2) 디지털 센서
(1) 유효면적 : 170 x 230 ㎜
(2) 픽셀수 : 2200 x 3050
(3) 해상도 : 7 lp/㎜
3) 차폐 캐비닛
(1) 표면 누설선량 1.0 uSv/h 이내로 차폐되는 캐비닛
(법적 기준은 장비에서 10 ㎝ 떨어져서 측정시 10 uSv/h)
(2) 자체 안전시스템(비상정지, 인터락) 탑재
(3) 크기: 320 ㎜ x 370 ㎜ x 550 ㎜
4) 무게: 40 ㎏

3.2 영상촬영,분석 전용 소프트웨어
1) 직관적인 기능 버튼, 100 % 한글 지원
2) 측정된 엑스레이 이미지에 대한 길이 측정, 각도측정, 컬러맵핑 기능
3) 각주 삽입, 이미지 병합, 히스토그램 측정 기능 지원

○ X-선 부품투시검사기는 부품에 X-Ray를 조사하여 육안으로 검사하기 어려운 반도체융합부품의 내부구조 파악과 품
질 확인, 불량분석이 가능한 장비이며 서비스로봇용 전자융합부품 및 센서모듈 적용부품의 시제품제작에 활용하여 부
품의 신뢰성을 확보하고 디버깅에 활용 가능하다.
○ 특히, 서비스로봇 제품 개발시 비파괴 내부검사가 가능한 필수적인 측정장비이다.
○ 탁상용의 포터블 타입이며 디지털 센서의 유효면적이 170×230mm 이상이고 해상도가 7lp/mm 이상으로 방사선
차폐 및 안전시스템 탑재, 영상분석 소프트웨어를 통한 세부 이미지 분석이 가능하다.
- 서비스로봇 부품(전자융합부품 등)의 역설계, 개발부품 트라이아웃, 불량분석 등에 활용
사용/활용예 ○ 서비스로봇 부품(전자융합부품 등)의 역설계, 제조공정에 따른 비파괴 내부 형상 체크, 품질확인, 불량분석
○ 전자융합 단위부품별 실사용 환경과 유사한 조건의 챔버에서 온도/습도/UV/진동 등 복합환경 조건의 가속수명 시험 전/
후 투시시험을 통해 주요 고장 모드 분석을 통한 수명 개선, 신뢰도 성장 연구 등에 활용 가능함.
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