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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

탄소소재 미세 구조분석 시스템(FE-SEM)

Microstructure analysis system for C-Composite

GBTP No. GBREMS-04-0003
NFEC등록번호 NFEC-2021-04-270017
I-tube등록번호 2101-A-0237
보유기관 경북테크노파크
연락처 053-850-7706
대표번호 053-819-7072

장비정보

모델명 JSM-7900F 제작사 Jeol
취득일자 2021-01-11 취득금액 980,489,940원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 활용용도 시험
장비위치
경상북도 경산시 진량읍 신제1길 31 (신제리) (재)경북하이브리드부품연구원연구동 B1층 106호
장비설명 탄소 소재 미세구조분석 시스템은 일반 광학현미경으로는 관찰이 어려운 탄소 소재의 기공, 함침 적정성을 관찰할 수 있는 복합소재 미세영역을 고분해, 고배율(최저 25배에서 최고 100만배까지)로 확대하여 표면, 단면 구조 및 형태를 확인 가능한 기초 분석 장비
구성 및 기능 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. 주장비
1) FE-SEM main body 1 set
2) 5 Axis Motor Drive stage 1 set
3) Specimen Exchange Chamber 1 set
4) Personal Computer with 24inch LCD monitor 1 set
5) UPS for FE-Gun 1 set
6) In column Electron detector system with ACL 1 set
7) Super high resolution bias deceleration system 1 set
8) Auto beam alignment software 1 set
9) Retractable BSE detector 1 set
10) Color image Stage Navigation System 1 set
11) IR Chamber Camera 1 set
12) Embedded type anti-vibration isolation system 1 set
13) 5.2cm bulk holder 1 set
14) Cross section multi specimen holder 1 set
15) Operation Table 1 set
16) Energy Dispersive X-ray Spectrometer 1 set
17) Low damage Cross section system 1 set
18) Automatic magnetron sputter coater 1 set
-. Target : Pt & Au
19) Automatic carbon coater system 1 set
20) Consumable parts
-. Aperture 2 ea
-. Vacuum Grease 1 ea
-. Specimen mount, 12.5Dx5H, 3 ca
-. Specimen mount, 25.4Dx5H, 3 ca
-. Adhesive Tape(carbon), 20M 3 ca

2. 보조장비
1) Cooling Water Circulator for FE-SEM 1 set
2) A.V.R for FE-SEM 1 set


성능 및 규격(Performance and Specification)

1. Performance
1) Image Resolution : 0.7nm guaranteed at 15kV or less
0.8nm guaranteed at 1kV or less
1.0nm guaranteed at 0.5kV or less
2) Magnification : x25 to x1,000,000 on photo mag. or more
3) Image types : Secondary electron image
Backscattered electron image
SE and BSE mixed image
(with filtering system)
4) Accelerating Voltage : 0.02 to 30kV or more
5) Probe current : A few pA to 400nA or more

2. Electron Optical System
1) Lens control method : New electron optical control mechanism.
Synchronized system which control the electron gun and optical system.
2) Electron Gun : In lens Field Emission-Gun
3) Lens System :
-. Observation mode : SEM, LDF GBSH or more
-. Condenser lens (C.L) : Electromagnetic 2-stage lens
-.
사용/활용예
이용안내
유의사항

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