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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
웨이퍼핸들링실습장치
Wafer Handling Training Equipment
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2024-03-295139 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 경일대학교 |
| 연락처 | 053-600-5516 |
장비정보
| 모델명 | IEG-3267 | 제작사 | (주)아이지 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2024-02-08 | 취득금액 | 39,857,143원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 자동화/이송장비 > 달리 분류되지 않는 자동화/이송장비 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 경산시 하양읍 가마실길 50 . . 제1공학관(06호관) F1층 107호
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| 장비설명 |
웨이퍼핸들링 실습 장치를 통한 이송 로봇 티칭 및 유지보수 교육
∙ 베르누이 척 적용으로 현장과 동일한 환경의 웨이퍼 반송 장치 활용 및 2차원 / 3차원 반송 공정 실습 ∙ 크린룸 및 일반 환경에서도 사용가능한 3축 원통좌표계 로봇 구조에 대한 이해 및 WTR(Wafer Transfer Robot) 운전 / 유지보수 실습 ∙ 웨이퍼 반송공정 최적화에 따른 수율 개선 방법에 대한 이해 ※ PLC 장비 및 Vision 검사장비와 연계하여 실습 |
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| 구성 및 기능 |
주요 사양
∙ 기계 구조 제어축 : 3축 ∙ 동작 범위: 중심도달 500mm, 선회 340도, 상하 300mm 내외 (±5% 편차) ∙ 반송 속도: R축 600mm/s, 선회축 340도/s, 상하축 250mm/s 내외 (±5% 편차) ∙ 반복 정밀도: ±0.1mm 이내 ∙ 로봇 척: 베르누이 척(접촉식) 적용 |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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