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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

주사 전자 현미경

scanning electron microscope

GBTP No. GBREMS-03-0197
NFEC등록번호 NFEC-2015-11-206184
I-tube등록번호 1506-A-0618
보유기관 경북테크노파크
연락처 053-819-8113
대표번호 053-819-3054

장비정보

모델명 ASI2300C 제작사 새론테크놀로지
취득일자 2015-06-25 취득금액 81,000,000원
표준분류 광학/전자영상장비 > > 활용용도 시험
장비위치
경상북도 경산시 와촌면 솔구불길 18 204번지 경북테크노파크 첨단메디컬융합섬유센터 F3층 302-2
장비설명 집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전지(Secondary Electron, SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electron, BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비임
구성 및 기능 1) 분해능: 3.0nm at 30kV[SE이미지]
2) 배율 : x15~x300,000
(1) 화면에서 마우스 휠로 확대 및 축소가 가능해야 한다.
(2) 단 단위의 배율 조정인 자유 배율 기능이 가능해야 한다.
4) 가속전압: 1kV ~ 30kV
5) 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
6) 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
7) 비점장치 : 8극 전자기장 형
8) Aperture Type: Variable Aperture(30,50,100,200um)
9) Working Distance : 5~50mm
사용/활용예
이용안내
유의사항

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