정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
scanning electron microscope
| GBTP No. | GBREMS-03-0197 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2015-11-206184 |
| I-tube등록번호 | 1506-A-0618 |
| 보유기관 | 경북테크노파크 |
| 연락처 | 053-819-8113 |
| 대표번호 | 053-819-3054 |
| 모델명 | ASI2300C | 제작사 | 새론테크놀로지 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2015-06-25 | 취득금액 | 81,000,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > > | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 | |||
| 장비설명 | 집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전지(Secondary Electron, SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electron, BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비임 | ||
| 구성 및 기능 |
1) 분해능: 3.0nm at 30kV[SE이미지]
2) 배율 : x15~x300,000 (1) 화면에서 마우스 휠로 확대 및 축소가 가능해야 한다. (2) 단 단위의 배율 조정인 자유 배율 기능이 가능해야 한다. 4) 가속전압: 1kV ~ 30kV 5) 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈 6) 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈 7) 비점장치 : 8극 전자기장 형 8) Aperture Type: Variable Aperture(30,50,100,200um) 9) Working Distance : 5~50mm |
||
| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
|---|
잠시만 기다려 주세요.