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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
금속멀티증착시스템(금속산화물멀티증착시스템)
E-beam evaporator
| GBTP No. | GBREMS-12-0090 |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2016-01-207403 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 구미전자정보기술원 |
| 연락처 | 054-479-2124 |
장비정보
| 모델명 | U-900 | 제작사 | 유니벡 |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2012-01-10 | 취득금액 | 199,500,000원 |
| 표준분류 | 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 구미시 산동면 첨단기업1로 17 디스플레이핵심부품국산화지원센터 구미전자정보기술원 디스플레이핵심부품국산화지원센터 F1층 107
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| 장비설명 |
금속산화물멀티증착시스템(보조장비)
금속멀티증착시스템(e-beam) 본 장비는 폴리머 등의 고분자 기판 및 ,Glass 등의 소재에 금속 박막을 코팅하여 평판 디스플레이용도의 Touch Panel, 투명 전극 부품, 전자파 차폐막 재료 등을 증착할 수 있는 장비. |
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| 구성 및 기능 |
금속산화물멀티증착시스템(보조장비)
금속멀티증착시스템(e-beam) ？ Coating size : 500*500mm ？ Base Pressure : 2E-7Torr ？ Deposition : 6ea(18CC) |
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| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
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