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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

레이저 플래시 측정장비

Thermal Diffusivity & Conductivity Testing Machine

모델명	LFA467	제작사	Netzsch
취득일자	2023-09-22	취득금액	524,667,000원
표준분류	물리적측정장비 > >	활용용도	시험
장비위치	경상북도 구미시 산동읍 5공단7로 8 경북하이브리드부품연구원 탄소성형부품상용화인증센터 F1층 인조흑연 분석실호
장비설명	- 반도체 공정 중 실리콘 잉곳용 도가니에 적용되는 인조흑연 블록은 높은 열전도도를 필요로 하며, 이에 적용하기 위한 인조흑연의 분석이 필요함 - 본 장비는 비열, 열용량, 열전도도를 측정하는 장비임 - 레이저 펄스를 이용하여 시료의 한쪽 평면을 가열하고, 시료에 조사된 열이 시료의 반대 면에 전달되는 시간, 열 등의 열확산도를 측정하여 시료의 열전도도를 측정함
구성 및 기능	⦁분석 온도 범위 : 상온 ~ 1200℃ 이상 ⦁시험 대기 분위기 : 불활성, 10-4mbar 이하 ⦁열전도도 측정범위 : 0.1 ~ 4000W/mK 이상 ⦁측정 정밀도 : 열확산도 : ± 3% 이하, 비열 : ± 5% 이하 ⦁측정 재현성 : 열확산도 : ± 2% 이하, 비열 : ± 3% 이하 ⦁가열 laser pulse : 10J/pulse 이상
사용/활용예
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