장비검색/예약
- 홈
- 장비활용
- 장비검색/예약
정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)
다파장엘립소미터
Multi-Wavelength Ellipsometer
| GBTP No. | - |
|---|---|
| NFEC등록번호 | NFEC-2023-09-289922 |
| I-tube등록번호 | - |
| 보유기관 | 포항공과대학교 |
| 연락처 | 054-279-5563 |
장비정보
| 모델명 | FS-1EX | 제작사 | Film sense |
|---|---|---|---|
| 취득일자 | 2023-09-07 | 취득금액 | 38,940,000원 |
| 표준분류 | 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계 | 활용용도 | 시험 |
| 장비위치 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 포항공과대학교 기계공학과 기계실험동 F3층 302호
 |
||
| 장비설명 | 빛의 편광특성을 이용하여 박막의 두께, 굴절률과 같은 광학적 특성을 측정할 수 있는 장치 이다. | ||
| 구성 및 기능 |
LED광원, 6 wavelengths, Compact footprint (180 x 400mm), 무게 (4.8kg)
Beam size on sample : 5 x 12 mm. Detector에 moving part가 없음 10nm 내외의 초박막의 정확한 두께 측정 가능 투명한 박막기준 5μm 까지 측정 가능 LED 광원 (수명 5만 시간 이상) Detector에 moving part가 없어 견고하고 잔고장이 없음. Ex-situ 또는 In-situ 방식으로 conversion 용이함 (In-Situ package를 추가하여 박막 증착 장비에 탑재함으로 In-situ 방식으로 공정 실시간 박막 두께 측정 가능) |
||
| 사용/활용예 | |||
| 이용안내 | |||
| 유의사항 | |||
이용료안내
| 담당자에게 문의하시기 바랍니다. |
|---|